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只见，光刻室里此时并没有一名操作工。

需要流片的硅晶圆片，通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头，可以全方位的喷洒洗涤药剂，清洗硅晶圆片的表面。

清洗干净的硅晶圆通过烘干室，自动烘干，热风吹拂除尘除异物，负压吸取异物。完成这道工序，洁净级别的硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。

这时候，四台码垛机器人把这些硅晶圆片取下来，放入托盘中临时存放。另外有四台机码垛器人，从托盘中取出一片硅晶圆片，放入光刻机内，等待光刻机给硅晶圆片曝光。

这一套流程下来，居然不要操作工来完成作业。

陈荣干震惊了，眼前的这一切让他无比震撼，“全球最先进的Foundry制程工艺果然不是吹的。这条芯片生产线应该是全球第一，没有哪一家的生产线比这还要先进。”

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