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随着玻璃门的关闭,投影大屏幕上的画面顿时一转,镜头切换到光刻机的内部。
此时此刻,画面中的光刻机开始运行光刻程序,左边的激光头挪动位置,自动校准,找到原始点。
紧接着,激光头开始工作,给工作台上的硅晶圆片曝光。不过是10秒左右,激光头迅速抬起,工作台开始轮换了。
左边的工作台转换到右边,左边的激光头再次降落、定位和曝光。而右边的激光头也开始工作,正在检验右边工作台上的硅晶圆片。
这就是双工作业的方式,可以缩短光刻机一半左右的时间。
按照光刻机电脑屏幕上显示的时间来看,这台KrF光刻机只要22秒钟就可以曝光一片硅晶圆片。
这种速度,全球也没有哪一台光刻机能做到。
嘶……
会议室里,sematech联盟的高级官员们,此时都傻眼了。
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