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这时,梁宋松也半蹲了下来,目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因,证明自己的猜想没有错。
“我们这台光刻机的接驳机构是测绘以后的仿制,没有原始图纸,精度没保障。所以说,就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天,梁宋松果断的下结论,认为还是光刻机主体系统出了故障。
他这套理论倒是有点道理,可跟两套系统组合以后的质量缺陷有啥联系?
故此,万宁古根本不同意梁宋松的意见,“激光光路系统和光刻机主体系统是刚性连接,跟这套接驳机构有啥关系?”
刚性连接只要保证连接机构的稳定就行,不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再说了,这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性,根本不会影响光刻机两套系统的稳定性。
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