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还要考虑散热。

光照在水上会加热水，这种事平时不算什么，但光刻机是极为精密的设备。

给水散热最好的方法就是让水流动起来，但是水一流动，就又可能会形成气泡，所以出水口的形状、位置都得经过严格计算。

光是为了给他们做纯水泵和单向阀，就差点难死东升重工！

此外还要考虑到底是把整个工作台浸没在水中,还是仅镜头浸在水中……

这其中反反复复实验了不知道多少遍，才得到了一个技术上较为可行，经济上较为合算的结果。

进入厂房，杨东升看了一眼旁边的杨淼，虽然只能看到眼睛，但是看得出他对这里很感兴趣,“怎么样，这里干净吧？”

“嗯！”杨淼点点头。

随同他们一起参观的还有几位国内半导体领域的专家。

同样一身无尘服的黄副总边走边介绍,“这台光刻机是八十年代初制造的，使用的是波长0.436微米的汞灯G线，孔径数值0.3，分辨尺寸只有0.89微米。目前经过我们的改造，已经可以达到0.35微米制程，追上了九十年代中期的国际先进水平！”

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