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光刻机研发这么多年,理论体系大家都清楚,但能否用技术实现出来却至关重要。
徐磊虽然率先解决了光源系统,能够达到很高的分辨率以及使用寿命。
可配制光刻胶却比较棘手。
霓虹国能为海外光刻机公司提供高端光刻胶,很大程度上是借助了自身在特殊材料领域的发展。
国内由于此行业底蕴较为薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊从零开始研发,这在效率速度上自然会慢上很多。
况且要保证在晶圆上蚀刻出3纳米甚至1纳米的芯片电路,对光刻胶的要求也就更高,起码品级要超出海外高端光刻机所使用的光刻胶,否则若最后和制作出来的顶级光刻机不配套,那就成了宝剑配上一个烂木鞘,怎么看会怎么别扭。
至于物镜系统的研发,进度则就明显快多了。
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