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此时的林本坚并不出名,他还只是tsm的资深处长,虽然跻身管理层,但职位高不到哪里去。
在2002年这个节点上,全世界的光刻机产业都陷入到了一个瓶颈阶段,摩尔定律眼看着就要失效,新一代的光刻机技术路线却迟迟未能确立。
尤其是漂亮国打算在极紫外光路线上下注,好一脚踢开碍眼的康尼,彻底将岛国半导体产业按死。
可知易行难,极紫外光并不是那么容易搞定的,甚至比起康尼的157nm的f2激光路线要激进得多。
asml就在这个关键的技术节点上卡了很久,被卡得欲仙欲死,连他们自己都不知道自己要到何年何月才能取得突破。
这一天,林本坚拿着自己写的方案,找到了他的上司。
“姜总,这是我的沉浸式光刻方案,请过目。”
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