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第53章 铍,三组不同的比例

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苏哲看着惊呼的众人,脸上露出了笑容。

此时此刻,牛光辉和司文博两人也是异常的兴奋。

两人看着大屏幕上两组加工镜片的检测数据,知道这次是稳了。

“不错不错!这样的结果才是我愿意看到的,这下大家也不用猜了,都能安心了。”牛光辉笑着说。

“的确!两组能有这样的检测数据,说明了DYN-离子束抛光技术的稳定性。”司文博肯定的说,“老牛!要是你们搞的等离子体EUV光源突破了就好了,那我们造出来的EUV光刻机就有竞争力了。”

“我也想啊!我们研究团队……”牛光辉还没说完,站在台上的包正义拿着话筒又喊了起来。

“各位注意了,这两组的检测的结果还有提升空间,DYN-离子束抛光技术在理论上,镜面精度能够达到0.06纳米的面型精度峰谷值和10皮米的表面粗糙度。”

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