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在半导体行业中,检测仪器和制造设备同样,至关重要。
没有高精度的检测设备,你就无法精确测量晶体结构的空间尺寸,也无法精确测量沟槽的漏电量到底有多少。
在这上面,德州仪器算是帮了华芯科技的大忙,这也为BSIM项目组提供了准确的数据来源。
FinFET技术在目前的制造工艺还看不出有多大的优势,因为制程的原因,现在的沟槽漏电量可以忽略不计。
但到了32纳米制造工艺之后,因为距离的接近,沟槽的漏电成为半导体行业继续前进的障碍。
华芯科技率先开发BSIM,无疑将在未来的半导体制造领域,掌握相当大的话语权。
当然,在王岸然看来,这还不够,FinFET结构商业化才是最终目的。
为此,华芯科技需要走的路还很远,需要的投入的资金也是海量。
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