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第568章无与伦比的优势,自产自销
“光源、物镜都已经解决了,整个系统很快就能完成。剩下的就看微电子设备那边吧,毕竟咱们只是一套曝光光学系统,整套光刻设备还需要他们做出来。”
戴远军这边的研发已经到了尾声,按照他的说法,一周之内就能结束战斗。
但要生产出来第一台45nm浸没式光刻机,那就得看微电子设备了。
“非常好!戴总,你们抓紧时间把收尾工作结束,我会给你们庆功。另外,提前和微电子设备那边对接,争取早日让国产45nm光刻设备问世。”
45nm这个节点很关键,有了这项技术储备,后续的28nm等等,就有了很大的希望。
不过,10nm以下是另外一个技术路径,博隆光学暂时还解决不了极紫光光源的问题。
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