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“光刻机的定位分辨率一般来说,比制程分辨率会高一到两代。”
“我们新科目前采用的芯片制程是0.35微米技术,定位分辨率则能够达到0.25微米水平。”
“按照正常的研发序列,我们接下来五年时间里会陆续开发出0.18和0.13微米级别的定位分辨率技术。”
“受限于我们目前的技术水平,到2004年我们最多可以把定位分辨率推进到90纳米。”
送走了林千军,王中军在实验室的闭门小会里露出了一脸愁容。
大家打完了鸡血,热情却不能直接变成科研成果,而科学技术又从来不以人的意志为转移。
所以在说到具体问题的时候,该掉头发还是要掉头发的。
“情况就是这么个情况,我们现在能够做到0.25微米已经是为了追赶国际先进水平,付出极大压力之后的成果了。”
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