苏扬看了半秒刘元龙,道:“这些设备,的确是最新的半导体核心设备,尤其是光刻机。”
说着,指着光刻机道:“这台光刻机里面的激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版都是国际最前沿的技术产品。”
苏扬继续道:“另外,掩膜台的运动控制精度达到纳米级,物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振器等物,也都是目前最先进的产品。”
“当然,最主要的还是这台光刻机的光源,并非是目前国际国内流行的深紫外光。”
“所采用的光是13.5nm的软X射线,也就是极紫外光作为光源。”
苏扬的话音落下。
现场陡然变得一片寂静。
四名高冷的保镖们不知所云,作为退役的军人,他们对这些科技玩意儿一无所知,完全听得云里雾里。
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